Was ist Fotolithographie?
Die Fotolithographie ist eines der wichtigen Verfahren bei der Herstellung integrierter Schaltkreise (ICs oder Chips). Vereinfacht gesagt handelt es sich dabei um den Prozess des Kopierens eines Schaltkreismusters auf ein Substrat mithilfe einer Fotomaske und eines Fotolacks.
Das Substrat wird mit einer Siliziumdioxid-Isolierschicht und Fotolack beschichtet. Der Fotolack lässt sich leicht mit einem Entwickler auflösen, nachdem er UV-Licht ausgesetzt wurde. Nach dem Auflösen und Ätzen verbleibt das Schaltkreismuster auf dem Substrat.
Was ist Fotolack? Warum muss die UV-Wellenlänge von 500 nm blockiert werden?
Fotolack wird mit Harzen, Lösungsmitteln und Additiven kombiniert. Der lichtempfindliche Bereich von Fotolack beträgt 200 nm-500nm. Daher verwenden viele Halbleiterlabore gelbes Licht, das die UV-Wellenlänge von 500 nm blockiert, um eine Überbelichtung oder vorzeitige Belichtung des Fotolacks zu verhindern.
